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              小型高溫蒸鍍儀

              鄭州科探儀器設備有限公司 (v1231253.skxox.com)

              小型高溫蒸鍍儀,鎢舟加熱,或者坩堝加熱,溫度可達1800度,帶樣品臺旋轉功能,使鍍膜更加均勻,

              軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

              通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發鍍膜,熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

              ★ 專業真空蒸發電源,數顯工作電流和電壓,恒流輸出;

              ★ 可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;

              ★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;

              ★ 可調速旋轉靶臺使薄膜更均勻

              ★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;

              不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

              原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵

              115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘

              真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色

              小型高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

              控制方式

              7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

              加熱方式

              數字式功率調整器

              鍍膜功能

              0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

              最大功率

              ≤1200W

              最大輸出電壓電流

              電壓≤12V 電流≤120A

              真空度

              機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa

              擋板類型

              電控

              真空腔室

              石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

              樣品臺

              可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底)

              樣品臺轉速

              8轉/分鐘

              樣品蒸發源調節距離

              70-140mm

              蒸發溫度調節

              ≤1800℃

              支持蒸發坩堝類型

              鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩

              預留真空接口

              KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

              可選配擴展

              機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)

              數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa)

              分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)

              一级一毛片A级毛片